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直拉式长晶炉回收+扬中分子泵回收每台价格

发布:2024/4/28 22:33:50 来源:shxj365


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4.6 检查断电保护和二次 回路的工作人员,未经值班人员许可,不准进行任何倒闸作。

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包括设于该炉顶部并伸入炉内的氩气输入管(12),与氩气输入管(12)相连通的环形气体分布器(11),其特征在于经氩气输入管(12)输入的氩气气压为0.8×103Pa0.9×103Pa,氩气流量为30L/min。2, 根据权利要求1所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于还包括 设于该炉的坩埚支持器(14)下方和该部的排气口 (13)之间的气流 导向装置(20)。一种直拉式单晶生长炉权利要求1该气流导向装置(20)为碗形气 流导向装置(20)的上端部(2-4)设于该炉的保温筒(17)与发热体(16) 之间。3其特征在于所述气流 导向装置(20)的上端部(2-4)的外壁与该炉的保温筒(17)密封连接。6, 根据权利要求5所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流 导向装置(20)各通气孔(2-3)与该炉的排气口 (13)通过通气管(19) 相连通。7, 根据权利要求6所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流 导向装置(20)由石墨制成。本发明具有积极的效果(1)本发明的直拉式单晶生长炉中。以防止因气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒之间的间隙而漏气,影响排气效果所述气流导向装置各通气孔与该炉的排气口通过通气管相连通,以提高排气效果。以防止因该中轴孔与石墨中轴之间的间隙而漏气,影响排气效果。所述气流导向装置的电极孔分别与该炉的电极柱密封连接,以防止因该电极孔与电极柱之间的间隙而漏气,影响排气效果。该炉的一对电极柱分别穿过所述电极孔,该炉的排气口与气流导向装置的各通气孔相连通,气流导向装置的上端部设于该炉的保温筒与发热体之间。该气流导向装置为碗形,其包括设于气流导向装置底部的中轴孔,设于所述中轴孔两侧的一对电极孔,以及设于所述中轴孔两侧并与该炉的排气口相对的通气孔。

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